项目
指标
纯氩
高纯氩
氩气（Ar）纯度（体积分数）/10-2
≥
99.99
99.999
氢（H2）含量（体积分数）/10-6
≤
5
0.5
氧（O2）含量（体积分数）/10-6
≤
10
1.5
氮（N2）含量（体积分数）/10-6
≤
50
4
甲烷（CH4）含量（体积分数）/10-6
≤
5
0.4
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6
≤
5
0.3
二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6
≤
10
0.3
水分（H2O）含量（体积分数）/10-6
≤
15
3
注：液态氩不检测水分含量。
